什么是高純氣體管道配管技術？所謂的高純氣體配管技術，是包括高純供氣系統的正確設計、閥門管件及附件的合理選擇、管道施工、安裝試驗和測試等；是高純氣體供應系統的重要組成部分；是高純氣體穩定地輸送到用氣點，且符合設備使用要求的關鍵技術。
高純氣體
在電子工業中普通氣體，也稱大宗氣體(Bulkgas)：氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氮氣(A2)等；除普通氣體外，電子工業還會用到大量的高純特種氣體(Specialty gas )，如：SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。這些特殊氣體根據氣體性質，類別通常可分為腐蝕性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。
半導體行業中使用的電子特種氣體，很多都是對人體有害的。比如，半導體制程工藝.常見的特種氣體：硅烷（SiH4）就具有自燃特性，一旦發生泄漏，它們就會與空氣中的氧氣劇烈反應并開始燃燒。再比如磷烷（PH3）和坤烷（AsH3）也具有劇毒性，輕微的泄漏都可能對人們的生命造成傷害。正是由于這些明顯的危險，所以對于高純氣體供應系統設計的要求特別高。
高純氣體管道系統工程有著能氣體的純度、標準氣體流量、壓力穩定和量值傳遞不發生變化等特點，廣泛應用于半導體、集成電路、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各種實驗室、科研研究所、標準測試等高科技行業。
在線客服
18001603533
631130920@qq.com
